投射电容式触摸显示屏的透明导电膜

　　在电容式触摸显示屏中，投射型的产品的发展如火如荼。如第2章内容所 述，它与电阻式触摸显示屏不同，在不使用透明导电性玻璃时，利用多张透明导 电薄膜粘合而成。因此，电容式触摸显示屏之间不存在空气层，能够大大降低界 面的反射，从而避免了干涉条纹和强光的问题，所以说它拥有优越的光学性 能。现阶段，虽然不适合文字输入，但它可以实现多点输入操作。

　　它是通过检测透明电极的电量变化的方式来实现触摸的。透明电极是通 过粘合层把多层透明导电膜粘合在一起，在经过层压技术完成的。因此通过 设计消除IT0膜与没有IT0膜部分的不同的可读性，显得格外重要。一般来 说，形成模式图案后，抑制IT0膜和没有IT0膜的部分的反射率以及透过和 反射时产生的颜色的差异，也很重要。触摸显示屏还要考虑到无彩色化。为了更 接近玻璃的颜色，需要降低雾度。此外，由于使用粘合层层压工艺，保持透明导电性与粘合层的一致性也很重要。

　　模拟电阻式触摸显示屏，可以实现文字输入。透明导电膜面内电阻的均一性 对能否正确地输入文字的影响很大。用于模拟电阻式触摸显示屏的表面电阻一般 为200?10001V□，考虑到触摸显示屏的检测精度和功耗，500(1/□左右的电阻 值是最理想的。

　　制作ITO膜主要是通过物理气相沉积中的溅射工艺完成的。溅射成膜是 在真空装置中，通过真空放电，将惰性气体电离，离子在电场作用下加速运 动，轰击靶材，撞击出的靶材粒子飞到基板上堆积形成薄膜的一种方法。溅 射成膜的均一性好，长期质量稳定，适合长期、批量生产。电阻值的均一性 对模拟电阻式触摸显示屏显得格外重要，所以溅射成膜最适合制作该类型的透明 导电膜。

　　薄膜基板上的ITO线电阻一般是3 x 1CT4?1 x 10_311 • cm。薄膜基板优 点是柔韧性好、轻薄、不易破碎、成本低。缺点是容许使用的温度范围小， 对ITO成膜工艺有所限制。PET薄膜允许的温度在100多摄氏度，在该温度 下沉积ITO薄膜的结晶度不好，直接影响到ITO薄膜的性能。为了克服上述 的缺陷，开发出低温非晶ITO薄膜工艺，再通过退火工艺，重结晶化，完成 高性能ITO薄膜的制作。